[发明专利]具有减少相分离、利用第三族氮化物四元金属体系的半导体结构及其制备方法无效

专利信息
申请号: 00805557.2 申请日: 2000-03-01
公开(公告)号: CN1345474A 公开(公告)日: 2002-04-17
发明(设计)人: 高山彻;马场孝明;詹姆斯·S·哈里斯;Jr· 申请(专利权)人: 松下电器产业株式会社
主分类号: H01S5/323 分类号: H01S5/323;H01L33/00;H01L31/0304
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 刘国平
地址: 日本大阪*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明披露了一种供半导体结构用的第III族氮化物四元材料体系,包括激光二极管,晶体管,和光检测器,所述结构减少或消除相分离并提供增加的发射效率。在举例性实施方案中,半导体结构包括在基本没有相分离下形成的第一导电型的第一InGaAlN层,基本没有相分离的InGaAlN活性层,和基本没有相分离下形成的相反导电型的第三InGaAlN层。
搜索关键词: 具有 减少 分离 利用 第三 氮化物 金属 体系 半导体 结构 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种半导体结构,包括:具有第一导电型的、InGaAlN材料的第一包复层,InGaAlN活性层,和与第一导电型相反导电型的第二包复层,对各层组成部分的摩尔份数进行选择,以使相分离最小化。
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