[发明专利]光电倍增管

摘要

在一光电倍增管1中,一种腐蚀技术被应用在按多层模式叠放的平板形的打拿极8上形成一些电子倍增孔8a。为了实施这种腐蚀过程,围绕平板形打拿极基片20配置了一模式框架22。提供了一连接桥部分23,用来将该模式框架22连接到该打拿极基片20的边缘20a上。该打拿极基片20上被一掩模覆盖,并实施腐蚀过程,以便在该打拿极基片20上形成多个电子倍增孔8a。紧接着,在靠近该打拿极基片20的位置处切断该连接桥部分23,因而在该打拿极8的边缘8b上残留下一小的连接桥的剩余部分8c。为了抑制由这些连接桥的剩余部分产生的噪音,可将相邻打拿极8上的连接桥的剩余部分8c排列在这样的位置上,使得平行于该打拿极叠放方向并通过该连接桥的剩余部分8c的直线彼此都不重叠,从而使该光电倍增管1的基本特性进一步得到改善。

主权项

1.一种光电倍增管(1)，它包括：一面板(3)一光阴极(3a)，当光入射在该面板(3)上时用来发射电子；一电子倍增部分(9)，它装在一密封容器内，用来使该光阴极(3a)发射的电子增倍；以及一阳极(12)；它基于电子倍增部分(9)倍增的电子发送输出信号，其中，该电子倍增部分(9)包括：多个按层叠放的平板形打拿极(8)，每个打拿极都用腐蚀形成有一些电子倍增孔(8a)，而且具有带有连接桥的剩余部分(8c)的边缘部分，这些连接桥的剩余部分(8c)被这样排列，使得平行于该打拿极的叠放方向伸展并通过相邻打拿极(8)上的各连接桥的剩余部分(8c)的直线彼此都不重叠。