[发明专利]用于在长形基体上气相沉积的装置和方法无效
申请号: | 00813589.4 | 申请日: | 2000-09-26 |
公开(公告)号: | CN1377327A | 公开(公告)日: | 2002-10-30 |
发明(设计)人: | 亚历山德罗·罗西;佛朗哥·科基尼;斯特凡诺·格里科 | 申请(专利权)人: | 菲布里奥蒂切苏德-F.O.S.股份公司 |
主分类号: | C03B37/014 | 分类号: | C03B37/014;C03B19/14;C03B37/018 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 蒋旭荣 |
地址: | 意大利巴*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于在用玻璃态材料做的长形构件(2)上化学沉积的装置和方法,其中,一旋转抓握构件(5)使长形构件(2)的第一端部(2b)旋转(20)。长形构件(2)的第二端部(2b)用一对支承构件(34、35)支承,它们沿轴向隔开(L1)并能允许第二端部作角度旋转和轴向滑动。每个支承构件(34、35)还作用一径向约束,防止第二端部(2b)离开旋转轴线移动,从而迫使第二部分(2b)和长形构件(2)以其纵向轴线与旋转轴线(18)共轴线。这样,就校正并补偿了长形构件(2)的任何弯度。 | ||
搜索关键词: | 用于 基体 上气相 沉积 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于在具有纵向轴线的长形基体构件上化学沉积合成材料的方法,该方法包括下列步骤:—将上述长形构件的一端固定在一抓握构件中,—通过上述抓握构件赋予上述长形构件绕上述纵向轴线的旋转,以及—在上述长形构件上沉积合成材料,其特征为,它包括这样的步骤,即进一步限制上述长形构件的一端在一轴向平面中的角度旋转。
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