[发明专利]改进的CMP制品无效
申请号: | 00814323.4 | 申请日: | 2000-08-30 |
公开(公告)号: | CN1379803A | 公开(公告)日: | 2002-11-13 |
发明(设计)人: | A·K·加格;B·V·塔尼克拉;W·R·德莱尼 | 申请(专利权)人: | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 朱黎明 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种磨料,它含有具有二氧化硅覆层的过渡态氧化铝颗粒,该颗粒的平均粒径小于50nm,BET表面积至少为50m2/gm,它以浆料或固定的磨料形式用于CMP方法中。 | ||
搜索关键词: | 改进 cmp 制品 | ||
【主权项】:
1.一种用于化学机械平整制品的磨料,它含有过渡态氧化铝颗粒,所述颗粒有二氧化硅覆层,平均粒径小于50nm,BET表面积大于50m2/gm。
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