[发明专利]绝对湿度传感器

摘要

本发明公开了一种用于微波炉的绝对湿度传感器。该绝对湿度传感器包括一在预定区域内具有第一孔和第二孔的基片;一形成于该基片上的隔膜;一在隔膜上在形成有第一孔的位置处形成的、用于检测空气的湿度的、具有可随所测湿度变化的电阻值的湿度感测元件;以及一在隔膜上在形成第二孔的位置处形成的、用于补偿湿度感测元件的电阻值的温度补偿元件。为了进行封装,该绝对湿度传感器还包括一与基片下部接合的管座,具有用于与外部电连接的插脚和流过外部湿气的孔;一导线,用于将湿度感测元件和温度补偿元件的电极焊点与管座的插脚电连接;以及一形成于管座上部上的金属保护壳,以覆盖管座的包含湿度感测元件和温度补偿元件的整个表面。

主权项

1.一种绝对湿度传感器，包括：一具有腔体的基片；一形成于该基片上的隔膜；一形成于该隔膜上的电阻器；形成于该隔膜上的电极焊点，用于与电阻器电连接；以及一钝化膜，该钝化膜形成于电阻器的整个表面上，以覆盖该电阻器。