[发明专利]包括集成微机械式环形谐振器的时基有效
| 申请号： | 00815353.1 | 申请日： | 2000-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN1387696A | 公开（公告）日： | 2002-12-25 |
| 发明（设计）人： | M·吉奥索夫;H·屈克;R·普拉茨 | 申请（专利权）人： | ETA草图制造公司 |
| 主分类号： | H03B5/30 | 分类号： | H03B5/30;G01C19/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟,林长安 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文所描述的时基包括谐振器(4)和集成电子电路(3),集成电子电路(3)用于驱动谐振器发生振荡并随此振荡产生具有确定频率的信号。本谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4),它支承在衬底(2)上方且适合环绕与衬底基本垂直的旋转轴(O)振荡。环形谐振器包括从衬底沿旋转轴伸出的中央立柱(5),和独立式振荡构件(6),该独立式振荡构件包括与旋转轴共轴的外环(60)和许多环绕中央立柱对称布置且将外环连接到中央立柱的弹性元件(62)。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 集成 微机 环形 谐振器 | ||
【主权项】：
1.时基包括一个谐振器(4)和一个用于驱动该谐振器(4)发生振荡以便随此振荡产生具有确定频率的信号的集成电子电路，其特征在于，所述谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4)，该谐振器(4)支承在衬底(2)的上方且适宜于按第一振荡模式绕与所述衬底(2)基本垂直的旋转轴(○)发生振荡，该环形谐振器(4)包括：一中央立柱(5)，由所述衬底(2)沿旋转轴(○)伸出；一独立式振荡构件(6)，连接中央立柱(5)且包括：一外环(60)，与所述旋转轴(○)共轴；及一些弹性元件(62)，对称地配置在中央立柱(5)的周围且将外环(60)与中央立柱(5)连接起来；及至少一对沿直径方向对置的电极构件(9，9*)，它们配置在外环(60)的周围并与所述集成电子电路(3)连接。
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