[发明专利]探测装置及其制造方法与使用它的基板检测方法无效
| 申请号： | 00815632.8 | 申请日： | 2000-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN1390305A | 公开（公告）日： | 2003-01-08 |
| 发明（设计）人： | 佐藤谦二;和田浩光;村井富士夫;三村浩一;秋田雅典 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28;G01R31/02;G02F1/1345 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 臧霁晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种探测装置,它具备检测设备10、中间基板3以及探测基板4,检测设备10与中间基板3的基端侧电气连接,中间基板3的前端侧与探测基板4的基端侧电气连接,探测基板4的前端侧与检测对象基板电气连接,其中,对于一个中间基板3电气连接多个探测基板4。由于当特定的探测基板4损伤时,能够仅交换该特定的探测基板4而继续使用其他探测基板4,故很经济。 | ||
| 搜索关键词： | 探测 装置 及其 制造 方法 使用 检测 | ||
【主权项】：
1.一种探测装置，它具备检测设备、中间基板以及探测基板，所述检测设备与所述中间基板的基端侧电气连接，所述中间基板的前端侧与所述探测基板的基端侧电气连接，所述探测基板的前端侧可以与检测对象基板电气连接，其特征在于，对于一个所述中间基板并列设置多个所述探测基板。
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