[发明专利]用于半导体器件个性化的装置与方法有效
| 申请号： | 00816201.8 | 申请日： | 2000-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1399796A | 公开（公告）日： | 2003-02-26 |
| 发明（设计）人： | 托布乔恩·桑德斯托姆 | 申请（专利权）人： | 微激光系统公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种供对标线处理的半导体器件上的图案作小的修改用的系统。作这些修改以建立一个同一图案的与一个大的恒定部分对比为较小的可变部分。在一个优选实施例中可变部分与恒定部分的曝光在同一个组合的分步机与代码写入机中以相同的波长完成。本发明提供一种自动、廉价与无危险的写入芯片的可变部分的方法。还显示一个供自动设计与生产单元芯片唯一图案用的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体器件 个性化 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种供设计与生产具有相同的功能但有一个芯片至芯片不同的芯片唯一信息例如系列号或隐藏的密匙的微电子器件用的方法，包括步骤：通过光分步机使用一个掩模或标线板曝光所述微电子器件的至少一层，在同一工件或晶片上形成一个至少在两个单元芯片之间恒定的子图案，通过使用光图案发生器曝光所述微电子器件同样的至少一层，形成一个至少在两个单元芯片之间可变的子图案，所述子图案包括所述芯片唯一信息。
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