[发明专利]高纯度低电阻的静电吸盘有效
| 申请号： | 00816808.3 | 申请日： | 2000-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1407956A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | R·迪瓦卡 | 申请（专利权）人： | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B41/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 周承泽 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过使本体暴露在贫氮气氛(如主要包括氩的气氛)中至少约1000℃的热炼温度下来降低主要由氮化铝组成的本体的体积电阻系数。该本体可以是例如致密化或烧结体(如多晶体)的氮化铝粉料的坯体。静电吸盘在吸盘体内有一电极。吸盘体的第一部分在电极的第一面上，具有小于约1×1013Ω·cm的23℃体积电阻系数。第二部分在电极的第二面上，其体积电阻系数在和第一部分的同一个数量级内。 | ||
| 搜索关键词： | 纯度 电阻 静电 吸盘 | ||
【主权项】：
1.一种降低主要由氮化铝组成的本体的体积电阻系数的方法，该方法包括在贫氮气氛中将该本体暴露于至少为约1000℃的温度。
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