[发明专利]化学放大型正光刻胶组合物无效
| 申请号： | 01102197.7 | 申请日： | 2001-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1312489A | 公开（公告）日： | 2001-09-12 |
| 发明（设计）人： | 中西润次;高田佳幸 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李悦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种化学放大型正光刻胶组合物得到的光刻胶膜与底物具有良好的附着性;并具有多种光刻胶性能特性如干蚀抗蚀性、灵敏度和分辨率;它含有树脂(X),其本身不溶于或微溶于碱,但通过酸的作用溶于碱,它具有衍生于3－羟基－1－金刚烷基－(甲基)丙烯酸酯的聚合单元(a),和衍生于β－(甲基)丙烯酰氧－γ－丁内酯的聚合单元(b),其中内酯环可以任选被烷基取代;和产酸剂(Y)。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1．一种化学放大型正光刻胶组合物，含有树脂(X)，其本身不溶于或微溶于碱，但通过酸的作用溶于碱，它具有衍生于3-羟基-1-金刚烷基-(甲基)丙烯酸酯的聚合单元(a)，和衍生于β-(甲基)丙烯酰氧-γ-丁内酯的聚合单元(b)，其中内酯环可以任选被烷基取代；和产酸剂(Y)。
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