[发明专利]热化学汽相沉积设备和使用该设备合成碳纳米管的方法无效
| 申请号： | 01102312.0 | 申请日： | 2001-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1315588A | 公开（公告）日： | 2001-10-03 |
| 发明（设计）人： | 李铁真;柳在银 | 申请（专利权）人： | 李铁真;株式会社日进纳米技术 |
| 主分类号： | C23C16/54 | 分类号： | C23C16/54;C23C16/26;C01B31/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘兴鹏 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了热化学汽相沉积设备和使用该设备合成碳纳米管的方法。所述设备包括顺序接收和传送多个基片的传送带,用于驱动传送带的旋转装置,用于顺序将基片装载到上述传送带上的装载装置,用于将传送带传送的基片卸载的卸载装置,该卸载装置与上述装载装置相对,用于供应反应气体的反应气体供应装置,该反应气体用于在被传送的基片上合成碳纳米管,用于加热装载基片的加热装置,以及用于排出反应产物气体的排气装置。 | ||
| 搜索关键词： | 热化学 沉积 设备 使用 合成 纳米 方法 | ||
【主权项】：
1．一种热化学汽相沉积设备，包括：顺序接收和传送多个基片的传送带；用于驱动传送带的旋转装置；用于顺序将基片装载到上述传送带上的装载装置；用于将传送带传送的基片卸载的卸载装置，该卸载装置与上述装载装置相对；用于供应反应气体的反应气体供应装置，该反应气体用于在被传送带传送的基片上合成碳纳米管；用于加热装载在传送带上的基片加热装置，用于反应气体的热分解；以及用于排出反应产物气体的排气装置。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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