[发明专利]具抗静电效应的光罩无效
| 申请号： | 01104345.8 | 申请日： | 2001-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN1372321A | 公开（公告）日： | 2002-10-02 |
| 发明（设计）人： | 徐震球;钟振辉;林义雄 | 申请（专利权）人： | 矽统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/60 | 分类号： | H01L23/60;H05F3/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具抗静电效应的光罩,其是在光罩上涂布一层具微导电性与透光性的高分子聚合物。本发明可以于加工中防止光罩上相邻图案间产生一尖端放电现象,进而保证光罩图案的完整性。 | ||
| 搜索关键词： | 抗静电 效应 | ||
【主权项】：
1、一种具抗静电效应的光罩，包含：一基座；一铬膜，位于该基座表面，用于表示电路图案；及一高分子聚合物层，涂布于该基座及铬膜的表面，具有透光性及微导电性；通过涂布该高分子聚合物，可使该光罩不致因静电累积而损毁。
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