[发明专利]原子束发生器无效
| 申请号： | 01108434.0 | 申请日： | 2001-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN1386041A | 公开（公告）日： | 2002-12-18 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;姚汉民;陈旭南;李展;陈献忠;张嵬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | H05H3/02 | 分类号： | H05H3/02 |
| 代理公司： | 成都信博专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张一红,王庆理 |
| 地址： | 61020*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是一种原子束发生器,它主要由包括炉盖、炉体、原子材料容器和炉底板组成的高温炉,以及真空腔体、大底座与抽真空接口等部分构成。通过更换和加热原子材料容器,能用于产生出不同的多种物质材料的原子束。本发明在工作时通过抽真空排除无用原子和气体,可保证原子束纯度较高。本发明有对原子冷却和控制制作超微细图形的专用真空工作室,可在工作室内制作出超微细三维图形。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 束发 | ||
【主权项】：
1、一种原子束发生器，包括高温炉和真空腔体(9)，其特征在于：高温炉、真空腔体(9)、大底座(12)由连接件连结成一体，并由真空密封条密封；由炉盖(4)、炉体(5)和炉底板(6)组成的高温炉中安装加热体(16)以及其中的原子容器(17)；高温炉由真空腔体(9)支撑，真空腔体(9)以及真空腔体(9)内的载物台和其上的基片(10)安装在大底座(12)上；炉体(5)和大底座上(12)分别有连接真空机组的抽真空接口(1)和(13)。
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