[发明专利]一种叠层栅快闪存储单元及其制造方法

摘要

本发明为一种叠层栅快闪存储单元及其制造方法,它包含一U－型浮置栅,一控制栅,及两者间的一内多晶硅氧化三明治层。叠层栅闪存储单元的制造步骤为在硅基底沉积穿遂氧化层与第一多晶硅层,离子注入第一多晶硅层,经后续沉积氧化层、沉积氮化物层、蚀刻平板印刷工艺(微影制程),进行蚀刻、化学机械研磨平坦化与回蚀,形成第一多晶叠层结构,第二多晶硅层和多晶硅间隙壁,及第三多晶硅层和控制栅。

主权项

1.一种叠层栅快闪存储单元制造方法，其特征是：包括下列步骤：(a)在一硅基底上沉积一穿遂氧化层与一第一多晶硅层，然后离子注入该第一多晶硅层；(b)在该第一多晶硅层上沉积一第一氧化层，然后再沉积一氮化物层，接着对该第一多晶硅层进行微影制程，以形成一第一多晶硅叠层结构；(c)对该硅基底进行蚀刻，以在该硅基底中至少产生一浅沟渠，接着沉积一第二氧化层以填满该浅沟渠；(d)进行化学机械研磨平坦化与回蚀氧化层，以去除超出该浅沟渠部分的该第二氧化层；(e)沉积一第二多晶硅层，然后离子注入该第二多晶硅层，并蚀刻该第二多晶硅层，用以在该第一多晶硅叠层结构的侧壁上形成一第二多晶硅间隙壁；(f)以湿蚀刻去除该氮化物层，接着以湿浸泡去除在该第一多晶硅层顶部的该第一氧化层，其中，该第二多晶硅间隙壁与该第一多晶硅层形成一U-型三度空间浮置栅；以及(g)沉积一内多晶硅介电膜与一第三多晶硅层，接着对该第三多晶硅层进行蚀刻平板印刷工艺，用以从该第三多晶硅层中形成一控制栅；(h)其中该内多晶硅介电膜与该控制栅配合该浮置栅的U-型三度空间轮廓，因此可增大在该控制栅与该浮置栅之间的面积交叠部分。