[发明专利]化学放大型正光刻胶组合物有效
| 申请号： | 01110230.6 | 申请日： | 2001-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN1316675A | 公开（公告）日： | 2001-10-10 |
| 发明（设计）人： | 上谷保则;山田爱理;宫芳子;高田佳幸 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 胡交宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种化学放大型正光刻胶组合物在如分辨率、轮廓、灵敏度、干蚀抗蚀性和附着性等性质中具有良好的平衡，它含有具有下列聚合单元(A)、(B)和(C)的树脂，和产酸剂，其中聚合单元(A)、(B)和(C)如说明书所定义。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化学放大型正光刻胶组合物，其特征在于含有具有下列聚合单元(A)、(B)和(C)的树脂，其本身不溶于碱，但通过酸的作用溶于碱；和产酸剂：(A)至少一种脂环内酯的聚合单元，它选自由下式(Ia)和(Ib)表示的聚合单元：其中每个R1和R2独立表示氢或甲基，n表示1-3；(B)至少一种聚合单元，它选自下式(II)表示的3-羟基-1-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯的聚合单元，下式(III)表示的单元和衍生于选自马来酸酐和衣康酸酐的不饱和二羧酸酐的单元组合的聚合单元，和下式(IV)表示的(α)β-(甲基)丙烯酰氧-γ-丁内酯的聚合单元：其中R3和R7表示氢或甲基，R4表示氢或羟基，每个R5和R6独立表示氢，具有1-3个碳原子的烷基，具有1-3个碳原子的羟基烷基，羧基，氰基，或-COOR7基团，其中R7表示醇残基，或者R5和R6一起形成由-C(＝O)OC(＝O)-表示的羧酸酐残基，(C)通过由于酸的作用使部分基团裂解而变为在碱中可溶的聚合单元。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友化学工业株式会社，未经住友化学工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/01110230.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于链条的滚柱以及装配有该滚柱的链条
- 下一篇：去除食物臭味的方法及除臭剂
