[发明专利]形成淀积膜的设备和方法

摘要

双层结构的电功率供给电极306包括用单个平板构成的没分隔开的电极102和设在没分隔开的电极102上的6个分隔开的电极101，与设在真空室302中的放电室305的上边上的没分隔开的电极电接触，使电功率供给电极平行面对条形衬底301。按形成平面的方式设置分隔开的电极101，面对条形衬底301的分隔开的电极101的表面与条形衬底301之间的距离均匀。面对条形衬底301的分隔开的电极101的表面总面积与其上安装分隔开的电极101的没分隔开的电极102的面积相同。于是提高了形成淀积膜的设备中产生的等离子体的均匀性，降低了形成淀积膜所需的成本。

主权项

1、一种形成淀积膜的设备，包括真空室，真空室内含有一对电极，电极包括要加电功率的电功率供给电极和其上要形成淀积膜的衬底。通过在衬底与电功率供给电极之间产生等离子体，并使引入真空室的作为形成淀积膜的原材料气体分解，在衬底上形成淀积膜，其中，电功率供给电极用单个平面电极和电连接到平面电极的多个分隔开的电极构成，每个分隔开的电极的面积小于平面电极的平面面积，和其中，多个分隔开的电极设在平面电极面对衬底的一侧上，以形成至少一个其形状与平面电极的平面形状几乎相同的基本上是平面的电极层。