[发明专利]在用X射线荧光测量薄层厚度中设定被测对象位置的方法有效
| 申请号： | 01111400.2 | 申请日： | 2001-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN1314580A | 公开（公告）日： | 2001-09-26 |
| 发明（设计）人： | 卡尔－海恩茨·凯瑟;沃尔克·略思格 | 申请（专利权）人： | 赫尔穆特费舍电子及测量技术有限及两合公司研究所 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 马浩 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在用X射线荧光测量薄层厚度中设定被测对象位置的方法,其中光学记录装置的光束投射到X射线中且记录下被测对象的表面作为含多个象点的图象输出,该表面和准直仪间的距离按绝对量改变,且在至少一个测量平面上的亮度变化于该距离的至少一次改变期间被记录;图象中各象点亮度差异的最大值在该距离的至少一次改变之后被记录,而且准直仪和该表面间的距离被设定到所确定的亮度差异为最大值的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 荧光 测量 薄层 厚度 设定 对象 位置 方法 | ||
【主权项】：
1．在用X射线荧光测量薄层厚度中设定被测对象位置的方法，其中光学记录装置的一光束被投射到X射线束中，且其中要记录下被测对象的表面并将它作为含有多个象点的图象而输出，其特征在于：-表面(14)和准直仪(17)之间的距离(26)按移动途径的绝对量改变，-至少在一个测量平面(32)上的象点的亮度变化要在表面(14)和准直仪(17)之间的距离(26)的至少一次变化期间被记录下来，-在距离(26)的绝对量的至少一次变化之后图象中各象点的亮度差异的最大值要被确定，以及-准直仪(17)和被测对象(16)的表面(14)之间的距离(26)被设定到所确定的亮度差异为最大值的位置。
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