[发明专利]用于无损测量薄层厚度的方法和仪器有效
| 申请号： | 01111756.7 | 申请日： | 2001-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1325015A | 公开（公告）日： | 2001-12-05 |
| 发明（设计）人： | 发明人要求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 赫尔穆特费舍电子及测量技术有限及两合公司研究所 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 冯谱 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用探针(11)和一个估计单元来无损测量薄层厚度的方法,探针(11)在一个内部铁心上带有一个第一线圈器件(24),该线圈器件的几何中心(22)和至少一个第二线圈器件(31)的几何中心重合,该至少第二线圈器件(31)部分地围绕着第一线圈器件(24);对该估计单元,在用来确定薄层厚度的测量期间发射线圈器件(24、31)的信号,该方法的特征在于提供一个电路(50),通过其在测量期间顺序激励第一和至少第二线圈器件(24、31)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 无损 测量 薄层 厚度 方法 仪器 | ||
【主权项】：
1．用来用一个探针(11)和一个估计单元无损测量薄层厚度的方法，探针(11)在一个内部铁心上带有一个第一线圈器件(24)，该线圈器件的几何中心和至少一个第二线圈器件(31)的几何中心重合，该至少第二线圈器件(31)部分围绕第一线圈器件(24)；对该估计单元，在确定薄层厚度的测量期间发射线圈器件(24、31)的信号，该方法的特征在于提供一个电路(50)，通过它在测量期间顺序激励第一和至少第二线圈器件(24、31)。
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