[发明专利]基于绝缘体上的硅（SOI）材料的全内反射型阵列波导光栅器件及制法无效
| 申请号： | 01113309.0 | 申请日： | 2001-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN1160894C | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | 江晓清;王明华;李柏阳;李锡华;周强 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H04J14/02 | 分类号： | H04J14/02;H04B10/12;G02B6/12;G02B6/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 31002*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 基于SOI材料的全内反射型阵列波导光栅器件及制法，包含输入输出波导、输入输出平板波导，特点是在输入输出平板波导之间依次是弧形过渡连接波导、阵列直波导、全内反射波导、阵列直波导、弧形过渡连接波导，输入输出波导的轴线相垂直。制法是根据确定的参数，以TE、TM模相位差的2π整数倍来确定阵列波导所需长度和全内反射角，采用基本硅器件制作工艺制作。本器件结构紧凑、尺寸小、对TE、TM模偏振不敏感。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 绝缘体 soi 材料 反射 阵列 波导 光栅 器件 制法 | ||
【主权项】：
1、一种基于绝缘体上的硅(SOI)材料的全内反射型阵列波导光栅器件，包含输入波导(1)、输入平板波导(2)、输出平板波导(8)、输出波导(9)，其特征在于：在输入平板波导(2)和输出平板波导(8)之间依次设置弧形过渡连接波导(3)、阵列直波导(4)、全内反射波导(5)、阵列直波导(6)、弧形过渡连接波导(7)，并依次连接，弧形过渡连接波导(3)与输入平板波导(2)连接，弧形过渡连接波导(7)与输出平板波导(8)连接，输入输出波导(1、9)的轴线相互垂直。
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