[发明专利]光盘的生产方法无效
| 申请号： | 01116918.4 | 申请日： | 2001-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1338739A | 公开（公告）日： | 2002-03-06 |
| 发明（设计）人： | 胜村昌广;饭田哲哉;上野崇 | 申请（专利权）人： | 日本先锋公司;株式会社古屋金属 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张志醒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种生产光盘的方法,有良好的S/N比而不使模版的质量因与含在抗蚀材料中吸引电子的元素组的反应而变坏。该方法有下列工序在衬底上形成抗蚀膜;通过电子束切割在衬底上将抗蚀膜摹制成一定形状;在摹制好的抗蚀膜上形成镍合金薄膜;通过电铸在该薄膜上形成镍层;用从该薄膜上剥掉的镍层作为模版注塑树脂。该薄膜的组成中含作为主要组成部分的Ni元素和重量计小于25%的Ru元素。 | ||
| 搜索关键词： | 光盘 生产 方法 | ||
【主权项】：
1.一种生产光盘的方法，包括下列工序：在衬底(1)上形成抗蚀膜(2)；用电子束切割法将抗蚀膜(2)在衬底(1)上摹制成一定形状；在摹制好的抗蚀膜(2)上形成电极(3)；通过电铸在电极(3)上形成金属层(4)；和用从电极(3)上剥掉的金属层(4)作为模版注塑树脂；其中，电极(3)包含Ni元素和Ru元素，Ni元素作为主要组成部分，Ru元素以重量计小于25％。
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