[发明专利]薄膜淀积设备、薄膜淀积工艺、真空系统以及判漏方法

摘要

薄膜淀积设备或工艺,用抽气装置经抽气管道对内部可抽空的真空室抽气;在对真空室进行抽气时向真空室内送入材料气体;施加高频功率而在真空室内的衬底上淀积薄膜温度传感器探测送入真空室的材料气体与从外部进入空气所含的氧起反应产生的反应热,依据温度传感器的测量值来检漏,从而能够停止材料气体的馈送。在薄膜淀积设备或工艺中,当因意外事故,如管道破裂,而致空气进入真空室时,能迅速检漏,因而能使用自燃性气体。

主权项

1．一种淀积薄膜的设备包括：一个内部可抽空的真空室；一套向真空室供应一种材料气体的气体馈送管道；一套为真空室内部抽气的抽气装置；连接真空室与抽气装置的第一抽气管道；经抽气装置引导排出气体的第二抽气管道，其中，薄膜淀积设备具有温度传感器来探测送入反应室的材料气体与从设备外部进入的空气中所含的氧起反应时产生的反应热。