[发明专利]研磨方法和研磨装置有效
| 申请号： | 01119774.9 | 申请日： | 2001-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN1324709A | 公开（公告）日： | 2001-12-05 |
| 发明（设计）人： | 法利信幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 李湘 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了研磨和研磨装置,可靠地防止了研磨损坏的产生并且避免研磨工件的损坏。按照本发明的较佳实施例,研磨方法包括的步骤是,首先间断地对工件进行研磨操作,在完成间断研磨操作之后对工件连续进行研磨操作。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 方法 装置 | ||
【主权项】：
1．一种工件研磨方法，其特征在于包括以下步骤：第一步是间断地对工件进行研磨；以及第二步是对工件连续进行研磨。
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