[发明专利]曝光设备的光学元件保持装置有效
| 申请号： | 01120775.2 | 申请日： | 2001-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1317725A | 公开（公告）日： | 2001-10-17 |
| 发明（设计）人： | 柴崎祐一 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 叶恺东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种以较高精度驱动光学元件(38a)的光学元件保持装置(43)。该光学元件保持装置具有保持部(44a)，该保持部与光学元件的周缘部嵌合，保持光学元件；连接部(44b)，该连接部与保持部连接。在连接部上，设置有驱动机构(50,60,61)，该驱动机构通过使保持部和连接部作相对移动，移动光学元件。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 设备 光学 元件 保持 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件保持装置，其包括第1保持部(44，44a)，该第1保持部保持第1光学元件(38，38a)的周边部；连接部(44b)，该连接部与上述第1保持部连接；驱动机构(50，60，61)，该驱动机构设置于上述连接部上，通过使上述第1保持部和上述连接部作相对移动，使上述第1光学元件移动。
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