[发明专利]具有对边电极的发光二极管元件及其制造方法无效
| 申请号： | 01121108.3 | 申请日： | 2001-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1388595A | 公开（公告）日： | 2003-01-01 |
| 发明（设计）人： | 李明达 | 申请（专利权）人： | 佳大世界股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省台南县永*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种具有对边电极的发光二极管元件及其制造方法,其特点是于一晶片上规划数个晶粒区域,且于各晶粒区域中规划一第一欧姆金属接触电极及一第二欧姆金属接触电极,并使第一欧姆金属接触电极与第二欧姆金属接触电极分设于晶粒区域的相对边,形成对边电极,这样可达到电流均匀分布、增加发光面积及发光效率等功效。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电极 发光二极管 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有对边电极的发光二极管元件的制造方法，其特征在于：所述方法包括下列步骤：(1)提供一晶片，其上形成有一第一导电型半导体区域，以及在所述第一导电型半导体区域上形成的一第二导电型半导体区域；(2)使用第一道光罩，于上述晶片上蚀刻数个第一接触区，且各所述第一接触区包括一第一条状电极区及一设于所述第一条状电极区任一位置的第一打线区；(3)使用第二道光罩，在晶片上进行数个晶粒区域的规划与隔离，使各晶粒区域分别包含有上述的第一接触区，并使所述第一接触区的第一条状电极区沿晶粒区域的一侧边设置，而使所述第一打线区位于所述侧边的任一位置；(4)使用第三道光罩，于各晶粒区域的第一接触区中镀上一第一欧姆金属接触电极；及(5)使用第四道光罩，使沿各晶粒区域的与第一接触区对边的另一侧边镀上一第二欧姆金属接触电极，其中，所述第二欧姆金属接触电极包括一与上述第一欧姆金属接触电极的第一条状电极区形成对边且对称的第二条状电极区，以及一设于所述第二条状电极区任一位置的第二打线区。
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