[发明专利]抛光组合物和抛光方法无效
申请号: | 01121960.2 | 申请日: | 2001-06-20 |
公开(公告)号: | CN1329118A | 公开(公告)日: | 2002-01-02 |
发明(设计)人: | F·阿巴斯;P·欧;J·K·克纳普;L·刘 | 申请(专利权)人: | 普莱克斯S.T.技术有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 谭明胜 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 抛光浆包括(按重量百分数计)0.1-50金属羟基酸促进剂,0.5-50氧化铈磨蚀颗粒,其余为水。金属羟基酸促进剂中的金属选自铬、镧、原子序数为59-71的稀土金属、锰、钼、铌、锇、铼、钌、钛、钨、钒、钇和锆。 | ||
搜索关键词: | 抛光 组合 方法 | ||
【主权项】:
1、抛光浆,包括(重量百分数):大约0.1-50的金属羟基酸促进剂,所述金属羟基酸促进剂中的金属选自铬、镧、原子序数为59-71的稀土金属、锰、钼、铌、锇、铼、钌、钛、钨、钒、钇和锆,大约0.5-50的氧化铈磨蚀颗粒,其余为水。
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