[发明专利]激光加工装置及其加工方法无效
| 申请号： | 01124917.X | 申请日： | 2001-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1332054A | 公开（公告）日： | 2002-01-23 |
| 发明（设计）人： | 矶圭二 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/38 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 罗朋,傅康 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种使用紫外线区波长的激光束可缩短加工时间的激光加工装置以及加工方法。这种激光加工装置具有控制装置,该控制装置输出具有周期性波形的第1转机信号和与该第1转机信号同步的具有周期性波形的第2转机信号;第1激光源,该第1激光源与上述第1转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第1脉冲激光束;第2激光源,该第2激光源与上述第2转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第2脉冲激光束;将上述第1脉冲激光束和上述第2脉冲激光束会聚到同一点的聚光光学系统,以及保持装置,该保持装置将被加工物保持在受由上述聚光光学系统会聚的脉冲激光束照射的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，具有控制装置，该控制装置输出具有周期性波形的第1转机信号和与该第1转机信号同步的具有周期性波形的第2转机信号；第1激光源，该第1激光源与上述第1转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第1脉冲激光束；第2激光源，该第2激光源与上述第2转机信号同步地射出具有紫外线区波长的第2脉冲激光束；将上述第1脉冲激光束和上述第2脉冲激光束会聚到同一点的聚光光学系统，以及保持装置，该保持装置将被加工物保持在受由上述聚光光学系统会聚的脉冲激光束照射的位置。
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