[发明专利]陶瓷多层基片上的表面电极结构及其制造方法有效

专利信息
申请号: 01137153.6 申请日: 2001-09-21
公开(公告)号: CN1344022A 公开(公告)日: 2002-04-10
发明(设计)人: 内木场文男;五井智之 申请(专利权)人: TDK株式会社
主分类号: H01L23/15 分类号: H01L23/15
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 罗朋,王忠忠
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在陶瓷多层基片上的表面电极结构中,其中基片上具有通过金-金接合用以安装倒装片30作为表面声波器件的表面SAW器件安装表面电极和焊接部件安装表面电极,至少最下层是由烧结银导体51制成,其中该导体部分地埋置在陶瓷多层基片40中,所包含的镍或镍合金层52作为中间层,并且最上层为银层53。因此,提供了一种在陶瓷多层基片上的表面电极结构,其适用于通过金-金接合安装SAW器件和通过焊接安装其他部件,并且其中使用陶瓷多层基片能够进行各个部件的一致性安装,以提供较高的可靠性。
搜索关键词: 陶瓷 多层 基片上 表面 电极 结构 及其 制造 方法
【主权项】:
1、一种在陶瓷多层基片上的表面电极结构,其基片具有通过金-金接合安装表面声波器件的SAW器件安装表面电极和焊接部件安装表面电极,它包括:由烧结银导体制成的最下层,其中银导体部分地埋置在陶瓷多层基片中;由镍或镍合金层制成的中间层;和由金层制成的最上层。
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