[发明专利]多层陶瓷衬底及其制造方法有效

专利信息
申请号: 01142942.9 申请日: 2001-11-27
公开(公告)号: CN1356864A 公开(公告)日: 2002-07-03
发明(设计)人: 原田英幸;砂原博文 申请(专利权)人: 株式会社村田制作所
主分类号: H05K3/46 分类号: H05K3/46;H01L21/48;H01L23/15;B32B31/14;B32B18/00
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 李湘
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种具有适于煅烧的堆叠的多层陶瓷衬底,包含具有限定腔体的开口的第一陶瓷生片;在对应所述开口的位置上没有开口的第二陶瓷层;所述第一陶瓷生片和第二陶瓷生片堆叠在一起,并且腔体由至少在一个端面上沿片堆叠方向具有孔径限定并且延伸至所述第二陶瓷层限定的内周表面;以及位于所述第一陶瓷生片与第二陶瓷生片之间全部或一部分边界从而暴露于所述腔体内周边表面的收缩抑制层。
搜索关键词: 多层 陶瓷 衬底 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种制造具有腔体的多层陶瓷衬底的方法,其特征在于包含以下步骤:提供具有形成腔体的开口的第一陶瓷生片和至少在对应第一陶瓷生片的开口的位置没有开口的第二陶瓷生片;提供第一收缩抑制材料,用于抑制所述第一与第二陶瓷生片之间边界产生的收缩应力;通过将所述第一陶瓷生片、所述第二陶瓷生片和所述第一收缩抑制材料堆叠从而使所述腔体的开孔沿生片堆叠方向位于所述堆叠陶瓷生片的至少一端面并且经过所述堆叠的深度延伸至内周边,与此同时使包含所述第一收缩抑制材料的所述收缩抑制层沿所述第一陶瓷生片与第二陶瓷生片之间的所述边界定位从而使所述收缩抑制层暴露于所述腔体的所述内周边表面一端来形成具有所述开口限定的生片堆叠;以及煅烧生片堆叠。
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