[发明专利]在槽内形成衬垫的方法有效
| 申请号： | 01143586.0 | 申请日： | 2001-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1359146A | 公开（公告）日： | 2002-07-17 |
| 发明（设计）人： | 阿恩·W·巴兰坦;杰弗里·S·布朗;杰弗里·D·吉尔伯特;詹姆斯·J·圭恩利万;詹姆斯·A·斯林克曼;安东尼·C·斯佩兰扎 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L21/76 | 分类号： | H01L21/76;H01L21/762 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄小临,王志森 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种包括具有衬垫的槽的结构,该结构通过快速热氧化获得,该衬垫在槽的顶部和底部具有圆的弯角。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 衬垫 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在槽中形成衬垫的方法，其中，在槽的顶部和底部，衬垫具有圆的弯角，该方法包括通过快速热氧化形成衬垫。
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