[发明专利]化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具以及适用于此模具的预防保养方法

摘要

本发明提供一种化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具以及适用于此模具的预防保养方法。本发明的冲孔模具，用以在载具膜上冲孔，其包括基座、第一板以及第二板。基座用以承载载具膜，第一板以可于第一位置和第二位置的间移动的方式设置于基座上，其中当第一板位于第二位置时，第一板与载具膜抵接；第二板具有复数个冲头以可于第三位置和第四位置之间移动的方式设置于基座上，其中当第二板位于第三位置时，第一板位于第一位置，当第二板位于第四位置时，第一板位于该二位置时，且冲头穿过第一板而在载具膜上冲孔。由本发明的冲孔模具以及适用于此模具的预防保养方法，可缩减停机时间，并可提高效率，简化预防保养程序。

主权项

1.一种化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具，其特征在于，上述模具包括：一基座，用以承载该载具膜；一第一板，可于一第一位置和一第二位置之间移动的方式设置于该基座上，第一板位于第二位置时，该第一板抵接于该载具膜；一第二板，具有复数个冲头，设置于该基座上可于一第三位置和一第四位置之间移动，第二板位于该第三位置时，该第一板位于该第一位置；第二板位于该第四位置时，该第一板位于该第二位置时，且该等冲头穿过该第一板在该载具膜上冲孔。