[实用新型]晶片测试机的进料装置无效
申请号: | 01201018.9 | 申请日: | 2001-01-12 |
公开(公告)号: | CN2457739Y | 公开(公告)日: | 2001-10-31 |
发明(设计)人: | 严灿焜 | 申请(专利权)人: | 东捷半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 台湾省台南*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种晶片测试机的进料装置,有一旋摆座,设于晶片测试机,可受驱动而于第一、二位置间旋摆,旋摆座上具有一轨道,一夹具设置于其上,晶片料管在夹掣时是对正于该轨道;一旋摆料管设于晶片测试机,可受驱动而于第三、四位置间旋摆,于旋摆料管位于第三位置且旋摆座位于第二位置时,旋摆料管的一端恰对正于旋摆座的轨道,旋摆料管一端设有至少一活动挡件,于旋摆料管旋摆至第四位置时,即对正于晶片测试机的入料口。 | ||
搜索关键词: | 晶片 测试 进料 装置 | ||
【主权项】:
1.一种晶片测试机的进料装置,其特征在于,包含有:一旋摆座,设于晶片测试机的预定位置,可受驱动而沿其固定点于第一、第二位置间旋摆,该旋摆座上具有一轨道,可导引晶片沿预定方向移动,一用以夹掣晶片料管的夹具设置于该旋摆座上,其中该晶片料管在夹掣时是对正于该轨道,于该旋摆座位于第一位置时,该轨道是呈水平,于该旋摆座旋摆至第二位置时,该晶片料管即随的旋摆而呈倾斜状,该晶片料管内的晶片即会向外滑出而滑入该轨道内;一旋摆料管,设于晶片测试机的预定位置,可受驱动而沿其固定点于第三、第四位置间旋摆,于该旋摆料管位于第三位置且该旋摆座位于第二位置时,该旋摆料管的一端恰对正于该旋摆座的轨道,而得承接沿该轨道滑下的晶片,该旋摆料管一设有至少一活动挡件,可受驱动而产生挡止、释放的动作,于该旋摆料管旋摆至第四位置时,即对正于晶片测试机的入料口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造