[实用新型]基板插取机无效
申请号: | 01201523.7 | 申请日: | 2001-01-17 |
公开(公告)号: | CN2462420Y | 公开(公告)日: | 2001-11-28 |
发明(设计)人: | 林希达 | 申请(专利权)人: | 群录自动化工业股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 台湾省台中县*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种基板插取机,可自动地将一仓匣中的基板取出或插入,包含有一机台,一升降机构设于该机台上且供该仓匣置放,用以驱动该仓匣上下升降,一呈长形板状的悬臂,以及一移位机构设于该机台上且供该悬臂接设,用以驱动该悬臂前后移动;当该悬臂向前移动时可伸入该仓匣中,向后移动时则可将该仓匣中的基板取出,藉此,该基板插取机可有效避免基板的污染及破损。 | ||
搜索关键词: | 基板插取机 | ||
【主权项】:
1.一种基板插取机,可自动将一仓匣中的基板取出或插入,其特征在于,包含有:一机台;一升降机构,是设于该机台上且供该仓匣置放;一悬臂,是呈长形板状;以及一移位机构,是设于该机台上且供该悬臂接设。
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