[实用新型]六自由度超精密定位及微细操作平台

摘要

本实用新型涉及一种用于精密自动定位的六自由度微细操作装置。它由上下两部分Ⅰ、Ⅱ串接而成,即上半部分Ⅰ的基架1,也是下半部分Ⅱ的运动输出平台1。上半部分Ⅰ的运动平台8与基架1之间由三条支链4连接;下半部分Ⅱ由运动平台1、垫块27、基平台26、压电陶瓷致动器36等组成。基平台26上包含三条运动支链。由于采用了压电陶瓷作为致动器,保证了驱动源的高精度运动输出和快的响应速度,又由于各转动副均采用了柔性铰链,因此保证了运动传递的连续性、无洄滞、无摩擦,没有机械损耗。

主权项

1.一种由压电陶瓷致动器、柔性铰链组成的六自由度超精密定位及微细操作平台，其特征是，由上下两部分串接而成，下半部分的运动输出平台同时又是上半部分的基架；上半部分的运动平台与基架之间由三条支链连接，每条支链上的支架与连架杆之间由与之为一体的转动副柔性铰链相接，连架杆与两个连杆之间由两个与之为一体的转动副柔性铰链相接，两个连杆与另外一个连杆之间由另外两个与之为一体的转动副柔性铰链相接，连杆与连接杆之间通过球副柔性铰链相接，连杆与嵌放压电陶瓷致动器的凸台之间由另外一个转动副柔性铰链相接，各支链与基架及运动平台之间均通过螺钉和圆柱销钉连接；下半部分由运动平台、垫块、基平台、压电陶瓷组成，基平台上均匀分布着三条支链，每个支链上的连接杆与连杆之间由与之为一体的柔性铰链相接，连杆与连架杆由另一个与之为一体的柔性铰链相接，连架杆与嵌放压电陶瓷致动器的开槽和基平台体分别由另外两个柔性铰链相接，基平台和运动平台之间通过垫块由螺钉和圆柱销钉连接。