[实用新型]多功能组合式纳米材料发生装置无效
| 申请号： | 01212688.8 | 申请日： | 2001-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN2476564Y | 公开（公告）日： | 2002-02-13 |
| 发明（设计）人： | 冯俊;冯洁 | 申请（专利权）人： | 冯俊;冯洁 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C16/513 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430010 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多功能组合式纳米材料发生装置。它包括支架,支架上设钟罩,监控装置,钟罩外设粒子束发生器,钟罩内设样品台、靶台,钟罩壁设粒子束入射窗口,样品台与靶台之间或样品台与钟罩壁之间设电场,样品台与靶台之间设约束磁场。本装置能很容易地将金属材料等离子体化,并能形成等离子体态的金属与气体等离子体单独、交替或混合撞击样件的情况,结果是在样件表面生成单一或复合纳米材料膜。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 组合式 纳米 材料 发生 装置 | ||
【主权项】：
1、一种多功能组合式纳米材料发生装置，它包括支架与钟罩组成的真空容器，监控装置，真空容器外设粒子束发生器，真空容器内设样品台、靶台，真空容器壁设粒子束入射窗口及观察窗口，样品台与靶台之间或样品台与真空容器壁之间设电场，样品台与靶台之间设约束磁场。
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