[实用新型]一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器无效
| 申请号： | 01238754.1 | 申请日： | 2001-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN2503487Y | 公开（公告）日： | 2002-07-31 |
| 发明（设计）人： | 黄全平;陆德仁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器,属于微电子机械系统领域,其特征在于它是由芯片和厚度比它稍厚的矩形框构成,芯片封装在框架中,并用玻璃盖板上下与其键合而成。芯片采用薄板－岛结构,主要由锚区、支撑质量块的悬空薄板、质量块、敏感电阻构成的。起弹性梁作用的薄板为单晶硅薄层,其厚度与量程有关;敏感电阻设计成单一直线状,长度可接近薄板宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量程 20 s2 微机 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于：(1)它由敏感部分的芯片和厚度比该芯片稍厚8-10微米的矩形框构成，芯片封装在框架中，并用玻璃盖板上下与其键合；(2)敏感部分的芯片是采用薄板—岛结构，主要由锚区、支撑质量块的悬空薄板、质量块、敏感电阻组成。
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