[实用新型]双自由度硅微振动陀螺仪

摘要

一种双自由度硅微振动陀螺仪属陀螺技术,由上层制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构与下层制作在玻璃衬底上的信号线,电容极板等所组成,上层机械结构的外框架通过外扭杆与隔离环相连,隔离环通过内扭杆与驱动轮相连,驱动轮通过支撑梁连于支撑柱,下层玻璃衬底包括地线,输入、输出线,x、y轴检测电容固定极板与x、y轴反馈力矩电容固定极板等,上层通过支撑柱悬空安装在下层之上。本陀螺仪实现了运动解耦,减少了误差。

主权项

1、一种双自由度硅微振动陀螺仪，其特征在于上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线和电容极板，陀螺仪上层机械结构的外框架(1)与驱动轮(5)之间设有隔离环(3)，并通过一对外扭杆(2)与外框架(1)相连，通过一对内扭杆(4)与驱动轮(5)相连，驱动轮(5)通过四根支撑梁(6)连于固定支撑柱(7)，陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线(10)，驱动输入信号线(11)，敏感输出信号线(12)，x轴检测电容固定极板(13)，y轴检测电容固定极板(14)，x轴反馈力矩电容固定极板(15)，y轴反馈力矩电容固定极板(16)，上层机械结构通过四根支撑梁(6)和固定支撑柱(7)悬空安装在玻璃衬底之上。