[发明专利]石英振荡装置有效
申请号: | 01800407.5 | 申请日: | 2001-03-02 |
公开(公告)号: | CN1364338A | 公开(公告)日: | 2002-08-14 |
发明(设计)人: | 饭塚实;石原宏征;小笠原好清;森显弘;平尾进;村上达也 | 申请(专利权)人: | 株式会社大真空 |
主分类号: | H03H9/13 | 分类号: | H03H9/13 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 张祖昌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的石英振荡装置包括一个具有两个主表面的石英振荡板,每个主表面上形成有激励电极和从激励电极引出的引导电极,以及在基底上形成的电极极板,石英振荡板和电极极板通过硅酮基导电粘合剂电连接,在激励电极和引导电极中,至少每个引导电极包括一个Cr膜层、一个Au膜层和一个Cr薄膜层或Ag薄膜层,它们以上述顺序叠置在石英振荡板上。另外,每个电极极板包括一个钨或钼制成的金属层、一个Ni膜层和一个Au膜层,它们以上述顺序叠置在基底上;Ni膜层中的Ni至少在涂布硅酮基导电粘合剂的部位扩散入每个电极极板中的Au膜层的预定区域中。 | ||
搜索关键词: | 石英 振荡 装置 | ||
【主权项】:
1.一种石英振荡装置,包括一个具有两个主表面的石英振荡板,每个主表面形成有一个激励电极和从激励电极引出的引导电极,以及在一基底上形成的电极极板,所述石英振荡板和电极极板通过硅酮基导电粘合剂电连接,其特征在于:在激励电极和引导电极中,至少每个引导电极包括一个Cr膜层、一个Au膜层和一个Cr薄膜层或一个Ag薄膜层,它们以上述顺序叠置在石英振荡板上。
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