[发明专利]适用于分段像观察装置的图案形成部件和分段像观察装置有效
| 申请号： | 01800429.6 | 申请日： | 2001-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN1364241A | 公开（公告）日： | 2002-08-14 |
| 发明（设计）人： | 远藤富男;山岸毅;贞森克也 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯光学工业株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B21/06;G01B11/24;G02B21/16;G02B26/10 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种适用于分段像观察装置的图案形成部件,选择地向试样照射来自光源的光,扫描所述试样,取得来自所述试样的光,将其作为分段像,所述图案形成部件包括照射部和遮光部,在将所述照射部和所述遮光部的各自图案形成为直线状的同时,交互配置这些直线状图案。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 分段 观察 装置 图案 形成 部件 | ||
【主权项】：
1.一种适用于分段像观察装置的图案形成部件，选择地向试样照射来自光源的光，对所述试样进行扫描，取得来自所述试样的光，将其作为分段像，其特征在于，所述图案形成部件包括照射部和遮光部，将所述照射部和所述遮光部的各自的图案形成为直线状，并交互配置这些直线状图案。
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