[发明专利]PFC处理方法及其处理装置无效
| 申请号： | 01800494.6 | 申请日： | 2001-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1364097A | 公开（公告）日： | 2002-08-14 |
| 发明（设计）人： | 南百濑勇 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/70 | 分类号： | B01D53/70;H01L21/205 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘宗杰,梁永 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及不损伤真空泵,整备、检查容易而且不需要燃烧处理的PFC的处理方法以及处理装置。在真空室12的后段介有配管14,连续设置真空泵16和反应器导入部17和等离子体处理部18和聚合物回收部20,构成处理装置10。 | ||
| 搜索关键词： | pfc 处理 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种PFC的处理方法，该方法是一种在半导体装置等制造工序中使用的PFC的处理方法，其特征在于，将在减压下使用的所述PFC通过真空泵转移至大气压下，之后在该PFC中添加反应材料，对所述PFC和所述反应材料构成的混合气体进行等离子体处理，利用所述PFC和所述反应材料生成聚合物。
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