[发明专利]缺陷检测装置无效
| 申请号： | 01800646.9 | 申请日： | 2001-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1365445A | 公开（公告）日： | 2002-08-21 |
| 发明（设计）人： | 小室考广;辻治之;三浦靖忠;田中利彦 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯光学工业株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;H01L21/66 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的缺陷检测装置的构成包括被检测体;照明部,对该被检测体倾斜规定角度配置,并照射照明光;摄像部,对上述被检测体倾斜规定角度配置,并对由上述被检测体发出的衍射光进行摄像;角度控制部,用于改变上述照明部及前述摄像部中至少一方的倾斜角度;图像处理部,按各倾斜角度,通过上述摄像部取入从上述被检测体发出的衍射光,并且求出对应于该衍射光的各倾斜角度的亮度值;判断部,从倾斜角度和亮度值的关系,判断最适合对衍射光进行观测的n次光;及角度控制部,根据该判断部的判断结果,对上述照明部及摄像部中至少一方的倾斜角度进行设定。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
1、一种缺陷检测装置，其特征在于包括：被检测体；照明部，相对于该被检测体倾斜规定角度而配置，并照射照明光；摄像部，相对于上述被检测体倾斜规定角度而配置，并对由上述照明部所照明的上述被检测体发出的衍射光进行摄像；角度控制部，用于改变上述照明部及前述摄像部中至少一方的倾斜角度；图像处理部，按由该角度控制部改变的各倾斜角度，通过上述摄像部取入从上述被检测体发出的衍射光，并且求出对应于该衍射光的各倾斜角度的亮度值；判断部，根据由该图像处理部所求得的倾斜角度和亮度值的关系，判断最适合对衍射光进行观测的n次光；及角度控制部，根据该判断部的判断结果，对上述照明部及摄像部中至少一方的倾斜角度进行设定。
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