[发明专利]透孔检查方法及装置

摘要

是能够以低成本高精度判定透孔检查的良否判别的透孔检查方法及装置。隔着设置有透孔工件的工作台，配置光源和有多个摄像元件的传感器摄像机。由上述传感器摄像机拍摄上述来自透孔的透射光。上述传感器摄像机的设定，是为使从上述工作表面位置错开设定其焦点位置，以便在外观上扩大透射光的摄像面积。

主权项

1.一种透孔检查方法，是在从有透孔的工件一方照射光，从另一 方由有摄像元件的传感器摄像机拍摄透射光并进行检查时的透孔检查 方法，其特征在于：包括 (1)存储针对具有无异常透孔的工件，将上述传感器摄像机的焦 点，向工件表面的上方移位所拍摄的透孔所对应的第1面积数据的工 序； (2)获取针对具有透孔的工件，将上述传感器摄像机的焦点，向 工件表面的上方移位与(1)的工序相同的量所拍摄的透孔所对应的第 2面积数据的工序； (3)通过比较上述第1面积数据与上述第2面积数据，来进行透 孔内异物检查的工序。