[发明专利]离子溅射泵无效
| 申请号： | 01800923.9 | 申请日： | 2001-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN1366706A | 公开（公告）日： | 2002-08-28 |
| 发明（设计）人： | 沈国华 | 申请（专利权）人： | 爱发科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J41/12 | 分类号： | H01J41/12;H01J37/18 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种泵构造简单且重量轻、中心轴附近的磁在径向及轴向上都为零、泵的到达压高的离子溅射泵。本离子溅射泵,其真空容器壁筒状部分的横截面形状作成凹凸形状,在该凹凸横截面形状筒状部分的外侧各凹部中朝着同一个磁极方向地分别设置具有同一形状、同一特性的永久磁铁,在该凹凸横截面形状筒状部分的内侧各凹部与真空容器壁离开地分别设置筒状的阳极,将真空容器壁的筒状部分作为阴极,在真空容器内,使周围上开有排气孔的筒状磁屏蔽部件与上述多个永久磁铁及多个阳极同心状地配置,并且分别轴对称、等间距地排列上述这些多个永久磁铁及多个阳极。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种离子溅射泵，在真空容器内设置有阳极和阴极，通过在两电极间加上高电压，在磁场的作用下使电子做螺旋运动，残留气体分子与螺旋运动着的电子相碰撞而被离子化，溅射阴极，吸附到阳极的表面等上，从而进行排气，其特在于，真空容器壁筒状部分的横截面形状作成凹凸形状，在该凹凸横截面形状筒状部分的外侧各凹部中朝着同一个磁极方向地分别设置具有同一形状、同一特性的永久磁铁，在该凹凸横截面形状筒状部分的内侧各凹部与真空容器壁离开地分别设置筒状的阳极，将真空容器壁的筒状部分作为阴极，在真空容器内，使周围上开有排气孔的筒状磁屏蔽部件与上述多个永久磁铁及多个阳极同心状地配置，并且分别轴对称、等间距地排列上述这些多个永久磁铁及多个阳极。
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