[发明专利]检查装置及检查方法无效
| 申请号： | 01801921.8 | 申请日： | 2001-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN1383489A | 公开（公告）日： | 2002-12-04 |
| 发明（设计）人： | 藤井达久;石冈圣悟 | 申请（专利权）人： | OHT株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02;G01R31/00;G02F1/136 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊,王刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于,提供一种可精细且有效地检查液晶面板用基板的形状的检查装置及检查方法。作为本发明的解决课题的手段,计算机21是通过控制X电极选择部22以及Y电极选择部23,以便于选择性地驱动基板100上的液晶电极。快闪冲击传感器1非接触性地配置在与基板100对向的位置上,以检测液晶电极101～104的电位变化,并作为检测信号输出至计算机21。计算机21接受快闪冲击传感器1的检测信号,生成影像资料,并根据该影像资料来检测液晶电极的断线、短路以及缺陷等等。又,计算机21将显示液晶电极的形状的影像显示于液晶显示器21a。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，是通过提供液晶驱动用的信号至液晶面板用基板，而以非接触方式检测该液晶面板用基板的电极的电位变化，其特征在于，具备有：检测机构，使用多个传感器单元以检测上述电极的电位变化；以及选择机构，输出选择上述传感器单元用的选择信号；上述传感器单元，组成于半导体的单结晶上或者平板上，其包括：无源元件，当作静电电容耦合的对向电极而动作于上述电极，藉以检测上述电极的电位变化；以及晶体管，按照上述选择信号的输入而输出依上述无源元件而输出的检测信号。
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