[发明专利]制造旋转对称的石英玻璃坩埚的方法和装置有效
| 申请号： | 01801975.7 | 申请日： | 2001-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN1386111A | 公开（公告）日： | 2002-12-18 |
| 发明（设计）人： | J·莱斯特;R·格贝尔;H·弗里茨 | 申请（专利权）人： | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C03B19/09 | 分类号： | C03B19/09 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟,赵辛 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在制造玻璃坩埚(2)的装置(5)中,通过至少两个均匀分布在石英玻璃坩埚(2)外周上的且产生第一电弧和另一道电弧的电极结构(7,8)来分别加热在这里转动的石英玻璃坩埚(2)的壁(13)的一部分(14,15)。通过使用多个电极结构(7,8),可以在到达后续加热区(11,12)前缩短壁部(14,15)的冷却段并由此防止不希望太高的壁(13)温差。同时,可以降低每个电极结构(7,8)的所需热功率,从而抑制了蒸发现象和此外出现的起泡。除了可由此获得的更高的质量要求外,同时也缩短了生产过程的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 旋转 对称 石英玻璃 坩埚 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种制造旋转对称的石英玻璃坩埚的方法，其中借助一个由一个或多个阳极和一个阴极构成的电极结构产生了电弧并由此加热在这种情况下转动的石英玻璃坩埚的壁或其局部，其特征在于，通过至少另一个由一个或多个阳极(9)和一个阴极(10)构成的电极结构(8)形成另一道电弧，由此加热了石英玻璃坩埚(2)壁的另一个部分。
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