[发明专利]体声波器件

摘要

一种具有若干共振器元件(14)的体声波器件,这些元件被横向间隔开,因此当处于该器件共振频率的信号(26)被施加在共振器元件(141)时,该信号通过共振器元件(14)压电层之间的声耦合被偶合到其他的共振器元件(142、143、144)。该器件有两个外共振器元件(141、145)和至少一个内共振器元件(142、143、144)。各内共振器元件的端子相互为电连接。该连接提供一种交流短路,该交流短路消除了内共振器元件的寄生电容的影响,并且通过减少上电极的输入与输出间的寄生电容,提供了器件的输入与输出之间的电磁屏蔽。

主权项

1.一种体声波器件，该器件包括：一层或多层形成在基板上的声反射器层；在所述声反射器层或各声反射器层上形成的下电极；在所述下电极上形成的压电层；和在所述的压电层上方形成至少三个上电极，每一个上电极至少部分地覆盖下电极，并由位于其下的压电层部分及下电极定出共振器元件，其中所述上电极横向地被间隔，使得施加在所述上电极和所述下电极间的处于该器件共振频率的电信号，通过压电层部分之间的声偶合而被偶合到其他的共振器元件，并且其中这些上电极被布置成有两个外上电极和至少一个内上电极，其中该内上电极或每一个内上电极与下电极电连接。