[发明专利]具有强电介质电容器的存储单元阵列及其制造方法以及强电介质存储装置有效
申请号: | 01802501.3 | 申请日: | 2001-08-21 |
公开(公告)号: | CN1388990A | 公开(公告)日: | 2003-01-01 |
发明(设计)人: | 名取荣治;长谷川和正;小口幸一;西川尚男;下田达也 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L27/10 | 分类号: | H01L27/10;H01L27/105;G11C11/22 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 程天正,张志醒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及构成强电介质电容器的强电介质层具有特定的图形,能够减小信号电极的杂散电容的存储单元阵列及其制造方法,以及强电介质存储装置。存储单元阵列(100A)中,以矩阵状排列了由强电介质电容器(20)构成的存储单元。强电介质电容器(20)具有第1信号电极(12);在与第1信号电极(12)交叉的方向上排列的第2信号电极(16);以及沿着第1信号电极(12)或者第2信号电极(16)以直线状配置了的强电介质层(14)。另外,也可以仅在第1信号电极(12)与第2信号电极(16)的交叉区域中以块状配置强电介质层(14)。 | ||
搜索关键词: | 具有 电介质 电容器 存储 单元 阵列 及其 制造 方法 以及 装置 | ||
【主权项】:
1.一种具有强电介质电容器的存储单元阵列、其特征在于:以矩阵状排列由强电介质电容器构成的存储单元,上述强电介质电容器包括:第1信号电极;在与该第1信号电极交叉的方向上排列的第2信号电极;以及至少配置在上述第1信号电极与上述第2信号电极的交叉区域中的强电介质层,其中,沿着第1信号电极或者第2信号电极以直线状配置上述强电介质层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的