[发明专利]用于在等离子聚合装置中固定电极的装置无效
| 申请号： | 01803769.0 | 申请日： | 2001-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN1395814A | 公开（公告）日： | 2003-02-05 |
| 发明（设计）人： | 尹东植;河三喆 | 申请（专利权）人： | LG电子株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 顾红霞,武玉琴 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于在等离子聚合装置中固定电极的装置，包括一个不导电的夹持器，用于通过覆盖住电极端部固定电极；一条连接电极和电源的导线；以及一个将夹持器固定在处理室壁上的固定部件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子 聚合 装置 固定 电极 | ||
【主权项】：
1.一种用于在等离子聚合装置中固定电极的装置，包括：一个处理室；一个真空泵，用于维持处理室中的真空状态；至少一个置于处理室中的电极，用于高压放电；一个用于固定电极的装置；以及一个电源，用于向电极施加电能，其特征是，用于固定电极的装置包括：一个用绝缘材料制成的电极夹持部件，用于覆盖住和夹持电极末端；一个经过电极夹持部件的导线部件，用于电极和电源间的导电连接；以及一个固定部件，用于将电极夹持部件固定在处理室中适当位置。
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