[发明专利]可移动反光镜光学位置的确定方法及其装置有效
| 申请号： | 01803896.4 | 申请日： | 2001-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN1395677A | 公开（公告）日： | 2003-02-05 |
| 发明（设计）人： | S·沃格勒;R·卡普兰;R·维克尔特;R·维纳恩德茨－范－雷桑德特 | 申请（专利权）人： | 海德堡显微技术仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/30 | 分类号： | G01D5/30;G01D5/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明,张志醒 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于可移动测量目标，特别是反光镜或反光器的光学位置确定的方法。其中一种借助光源(2)产生的测量光束(6)被测量目标(10)反射到一个位置灵敏光探测器(12)上，借助该光探测器实施一个对应于测量目标(10)位置的信息转换。本发明的任务是构造一个方法，即用简单的光学构件能实现反光镜，尤其是旋转反光镜的一个迅速的光学位置测量。为完成该任务本发明建议借助一个光学系统(8)将测量光束(6)聚焦在一个光探测器(12)上并且由该借助光探测器(12)获取的测量值确定对应于所聚焦的测量光斑强度分布最大值或重心的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 反光镜 光学 位置 确定 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.用于可移动测量目标(10)，尤其是一个反光镜或反光器的光学位置确定的方法，其中一个借助光源(2)产生的测量光线(6)被测量目标(10)反射并且到达一个位置灵敏的光探测器(12)上，借助该光探测器(12)完成一个相应于测量目标(10)的位置信息的转换，其特征在于：测量光线(6)借助一个光学系统(8)被聚焦在光探测器(12)上，并且由通过光探测器(12)获取的测量值，确定对应于计算函数已聚焦的测量光斑的强度分布的重心或最大值的信号。
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