[发明专利]垂直式扫描型显微镜用悬臂及使用该悬臂的垂直式扫描型显微镜用探针无效
| 申请号： | 01804103.5 | 申请日： | 2001-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1397011A | 公开（公告）日： | 2003-02-12 |
| 发明（设计）人： | 中山喜万;秋田成司;原田昭雄;大川隆;高野雄一;安武正敏;白川部喜治 | 申请（专利权）人： | 大研化学工业株式会社;精工电子有限公司;中山喜万 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;G12B21/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的垂直式扫描型显微镜用探针(20)通过固定于悬臂(2)的纳米管探针的前端来获得试样表面(24)的物性信息；其特征在于在悬臂(2)设置固定纳米管(12)的基端部(14)的安装区域，当相对平均试样表面(26)将悬臂(2)配置成测定状态时，使上述安装区域的高度方向相对上述试样平均表面(26)成为垂直状态地设置，将纳米管(12)的基端部(14)固定于该安装区域的高度方向。这样，可实现将成为探针的纳米管前端相对试样面以大体垂直状接触从而可高灵敏度地检测试样的表面信息的垂直式扫描型显微镜用探针。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 扫描 显微镜 悬臂 使用 探针 | ||
【主权项】：
1.一种垂直式扫描型显微镜用悬臂，扫描型显微镜用探针通过固定于悬臂的纳米管探针的前端来获得试样表面的物性信息；其特征在于：在悬臂上设置用于对成为探针的纳米管的基端部进行固定的安装区域，当相对平均试样面将悬臂配置成测定状态时使上述安装区域的高度方向成为相对试样面大体垂直的状态地设置。
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