[发明专利]导电性扫描型显微镜用探针及使用该探针的加工方法无效
| 申请号： | 01804104.3 | 申请日： | 2001-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1397010A | 公开（公告）日： | 2003-02-12 |
| 发明（设计）人： | 中山喜万;秋田成司;原田昭雄;大川隆;高野雄一;安武正敏;白川部喜治 | 申请（专利权）人： | 大研化学工业株式会社;精工电子有限公司;中山喜万 |
| 主分类号： | G01N13/12 | 分类号： | G01N13/12;G12B21/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的导电性扫描型显微镜用探针(20)通过固定于悬臂(4)的导电性纳米管探针(12)的前端(14a)获取试样表面的物性信息；其特征在于由形成于上述悬臂(4)表面的导电性被覆膜(17)、将基端部(16)接触配置于悬臂(4)的所希望部位的表面的导电性纳米管(12)、从该导电性纳米管(12)的基端部(16)覆盖上述导电性被覆膜(17)的一部分对导电性纳米管(12)进行固定的导电性分解堆积物(18)构成，由导电性分解堆积物(18)使导电性纳米管(12)和导电性被覆膜(17)成为导通状态。这样，可实现能够在成为探针的导电性纳米管与试样间加电压或通电的导电性扫描型显微镜用探针。 | ||
| 搜索关键词： | 导电性 扫描 显微镜 探针 使用 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种导电性扫描型显微镜用探针，通过固定于悬臂的导电性纳米管探针的前端来获取试样表面的物性信息；其特征在于：由形成于上述悬臂表面的导电性被覆膜、将基端部接触并配置于悬臂的所希望部位的表面的导电性纳米管、及从该导电性纳米管的基端部覆盖上述导电性被覆膜的一部分对导电性纳米管进行固定的导电性堆积物构成，由导电性分解堆积物使导电性纳米管和导电性被覆膜成为导通状态。
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